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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2000.11 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 集密３(X5E) 主配架/549.8/ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ/ 10212608277 一般図書 書架 iLisvirtual

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タイトル 半導体製造装置用語辞典
著者 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2000.11
ページ数 588p
大きさ 22cm
一般件名 半導体-辞典
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 半導体産業の発展は日本の産業基盤強化に大きく寄与し、経済への波及効果も非情に大きい。急速な技術進展を背景に、21世紀の新技術に適用できる用語辞典をめざす。97年刊に次ぐ改訂第5版。
ISBN 4-526-04666-3

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