資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

トコトンやさしい超微細加工の本

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.1 -- 549

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 集密３(X5E) 主配架/549/ｱｻﾏｷ*ﾀ/ 10213129374 一般図書 書架 iLisvirtual

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル トコトンやさしい超微細加工の本
叢書名 B&Tブックス
著者 麻蒔 立男 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
一般件名 電子工学 , ナノテクノロジー
NDC分類(9版) 549
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
ISBN 4-526-05226-4

ページの先頭へ