西沢 潤一/編 -- 工業調査会 -- 1993.8 -- 549.8
( 超LSI技術 17 )

所蔵

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 集密3(X5A) 主配架/549.8/ニシザワ*ジ/(38) 10215737500 一般図書 書架 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 半導体研究 38
著者 西沢 潤一 /編  
出版者 工業調査会
出版年 1993.8
ページ数 344p
大きさ 27cm
一般件名 半導体
NDC分類(10版) 549.8
ISBN 4-7693-1113-3
巻の書名 超LSI技術
巻の書名カナ チョウエルエスアイ ギジュツ
各巻巻次 17
各巻巻次カナ 17
各巻巻書名 デバイスとプロセス その7
各巻巻書名カナ デバイス ト プロセス