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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
佐藤 淳一/著 -- 秀和システム -- 2016.8 -- 549.8
SDI
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所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
県立
集密3(X5E)
主配架/549.8/サトウ*ジ/2016
10214840397
一般図書
書架
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資料詳細
タイトル
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
副書名
製造装置の全体を俯瞰する
叢書名
図解入門
叢書副書名
How‐nual
著者
佐藤 淳一
/著
出版者
秀和システム
出版年
2016.8
ページ数
259p
大きさ
21cm
一般件名
半導体
NDC分類(9版)
549.8
内容紹介
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ISBN
4-7980-4726-3
ISBN13桁
978-4-7980-4726-3
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