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プラズマプロセス技術

プラズマ・核融合学会／編 -- 森北出版 -- 2017.1 -- 501.4

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 Ａ０５Ｂ 主配架/501.4/ﾌﾟﾗｽﾞﾏﾌﾟﾛ/ 10214873939 一般図書 書架 iLisvirtual

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タイトル プラズマプロセス技術
副書名 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者 プラズマ・核融合学会 ／編  
出版者 森北出版
出版年 2017.1
ページ数 7,273p
大きさ 22cm
一般件名 材料科学 , プラズマ物理学
NDC分類(10版) 501.4
内容紹介 超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
ISBN 4-627-77561-9
ISBN13桁 978-4-627-77561-9

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