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真空科学ハンドブック

日本真空学会／編 -- コロナ社 -- 2018.3 -- 534.93

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 Ｃ０５Ｂ 主配架/534.93/ｼﾝｸｳｶｶﾞ/ 10214983593 一般図書 書架 iLisvirtual

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タイトル 真空科学ハンドブック
著者 日本真空学会 ／編  
出版者 コロナ社
出版年 2018.3
ページ数 8,578p
大きさ 27cm
一般件名 真空技術
NDC分類(10版) 534.93
内容紹介 真空の科学的基礎を解説。また、成膜、プラズマプロセスなどの応用分野で真空環境の役割を説き、極高真空などのこれまでにない真空環境が要求される研究・応用への取組みなどを紹介する。
ISBN 4-339-00908-8
ISBN13桁 978-4-339-00908-8

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