日本半導体製造装置協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 1991.11 --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 集密3(X5E) 主配架/549/ニホンハンド/ 10210090972 一般図書 書架 iLisvirtual

資料詳細

タイトル 「半導体立国」日本
副書名 独創的な装置が築きあげた記録
著者 日本半導体製造装置協会 /編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1991.11
ページ数 403p
大きさ 20cm
一般件名 半導体
ISBN 4-526-03042-2