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超微細加工技術

徳山 巍／著 -- オーム社 -- １９９７．２ --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 集密３(X5E) 主配架/549.7/ﾄｸﾔﾏ*ﾀ/ 10212054565 一般図書 書架 iLisvirtual

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タイトル 超微細加工技術
叢書名 応用物理学シリーズ
著者 徳山 巍 ／著  
出版者 オーム社
出版年 １９９７．２
ページ数 ３０９ｐ
大きさ ２２ｃｍ
一般件名 集積回路
ISBN 4-274-02332-X

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