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ものづくり現場の微粒子ゴミ対策

清水 伸二／監修 -- 日刊工業新聞社 -- 2008.8 -- 509.68

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 集密３(X54) 主配架/509.68/ﾓﾉﾂﾞｸﾘｹﾞ/ 10213837286 一般図書 書架 iLisvirtual

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タイトル ものづくり現場の微粒子ゴミ対策
副書名 製品信頼性/生産性を決める!
著者 清水 伸二 ／監修, 微粒子問題専門委員会 ／編著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2008.8
ページ数 10,228p
大きさ 21cm
一般件名 設備管理
NDC分類(9版) 509.68
内容紹介 製造工程で生じる微粒子問題を取り上げ、その対策技術の原理をやさしく解説。また、微粒子ゴミの計測と分析の技術、ものづくりの現場で実際に行われている個別の微粒子対策を広範な事例で示す。
ISBN 4-526-06110-3
ISBN13桁 978-4-526-06110-3

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