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半導体CMP用語事典

精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編 -- オーム社 -- 2008.10 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 集密３(X5E) 主配架/549.7/ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ/ 10213861710 一般図書 書架 iLisvirtual

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タイトル 半導体CMP用語事典
著者 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 ／編  
出版者 オーム社
出版年 2008.10
ページ数 7,262p
大きさ 19cm
一般件名 集積回路-辞典
NDC分類(9版) 549.7
内容紹介 加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。
ISBN 4-274-20612-2
ISBN13桁 978-4-274-20612-2

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