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よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2011.10 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
県立 集密３(X5E) 主配架/549.7/ｻﾄｳ*ｼﾞ/ 10214282204 一般図書 書架 iLisvirtual

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タイトル よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み
副書名 リソグラフィ技術の核心に迫る
叢書名 図解入門
叢書副書名 How‐nual
著者 佐藤 淳一 ／著  
出版者 秀和システム
出版年 2011.10
ページ数 271p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー , 半導体
NDC分類(9版) 549.7
内容紹介 リソグラフィの基礎から発展までの技術を、プロセスフローを例にして豊富なイラストで分かりやすく解説した入門書。半導体製造現場に近い視点も取り入れ、歴史的経緯にも触れながら説明する。
ISBN 4-7980-3063-0
ISBN13桁 978-4-7980-3063-0

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